디스플레이
LCD/OLED 생산공정에 최적화된 AMHS Solution을 제공합니다.
01
Stocker
Use
공정간 물류 이송시스템으로 카세트의 보관 및 이송기능 담당
Features
- Fast, Efficient Storage and Retrieval
- AGV/MGV/OHS Compatible I/O Port
- SECS/HSMS/GEM Compatible
- Contact-less Power Supply
Specification
- PayloadMax. 2,000kg
- SpeedMax. 210m/min
- Forking Time7 sec ~ 12 sec
- CleanlinessClass 10@0.1㎛(Anti-Particle Design)
02
OHCV (Curved)
Use
효율적인 공간 활용을 위해 상부를 통하여 Stocker간 카세트를 이송하는 물류 장치
Features
- Application of Curved Rail
- educing Number of Carriage
- Short Cycle Time
- Easy to Configure Layout
Specification
- PayloadMax. 2,000kg
- SpeedMax. 180m/min
- Power SupplyContact-less Power Supply
- Cleanliness Cleanliness Class 10@0.1㎛(Anti-Particle Design)
03
OHT (Overhead Hoist Transport)
Use
효율적인 공간 활용을 위해 천정 하부에 설치되어 장거리 및 이송량이 많은 구역에 이송물을 직접 공정장비에 이송해주는 물류장비
Features
- Direct Interface With Stocker To Process
- Equipment or Buffers
- Rail TypeSingle Rail
- Routing DeviceTurn Table/Rail Shifter
- Use For Cell To Module Transfer
Specification
- PayloadMax. 600kg
- Traveling VelocityMax. 180m/min
- Hoisting Speed Contact-less Power Supply
- Gripper Base
04
RGV (Rail Guided Vehicle)
Use
공정설비, Stocker, Buffer간 카세트를 레일에 따라 이송하는 무인이송장비
Features
- Excellent Substitute for AGV System
- Direct Interface with Process Equip. or Buffers
Specification
- PayloadMax. 2,000kg
- SpeedMax. 210m/min
- HForking Time 7 sec ~ 12 sec
- Cleanliness Class 10@0.1㎛(Anti-Particle Design)
05
AGV (Automated Guided Vehicle)
Use
공정 설비 Stocker, Buffer간 카세트를 자유롭게 이송하는 무인반송 장비
Features
- Excellent & Flexible Delivery System
- Direct Interface with Process Equip. or Buffers
- Steering Wheel Drive
- Auto Charging System
- SCARA or Slide Fork
Specification
- Payload100 ~ 1,500kg
- SpeedMax. 60m/min
- Load Time15 sec ~ 32 sec
- CleanlinessFab -Class 10@0.1㎛(Anti-Particle Design)
Pkg -Class 1000@0.5㎛(Anti-Particle Design)
07
Clean Lift
Use
FPD 공정 중 층간 또는 층내 단차가 있는 곳에서 카세트를 수직 반송해주는 장비
Features
- AGV/RGV/OHCV/STK Compatible I/O Port
- High Efficiency
- Optimize Safety Interlock
Specification
- PayloadMax. 3,000kg
- SpeedMax. 120m/min
- StrokeMax. 97m
- CleanlinessClass 10@0.1㎛(Anti-Particle Design)
08
OHS (Over Head Shuttle)
Use
효율적인 공간 활용을 위해 천정 하부 레일 위에 설치되어 장거리 및 이송량이 많은 구역에서 카세트 이송
Features
- Minimum Curve Radius
- Compatible with High Cleanliness
- High Efficiency
- Compact and Slim Design
Specification
- PayloadMax. 2,000kg
- Traveling VelocityMax. 210m/min(curve 45m/min)
- CleanlinessClass 10 @0.1㎛(with Exhaust Filter)